第131章 光刻机技术路线(4 / 4)
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周新话音刚落，林本坚脸色大变，周新知道ArF和KrF，这他能理解。
因为这些都是发表在公开期刊上的内容，但凡对光刻机感兴趣的人，都有机会阅读到。
但是周新能够准确说出不往ArF方向投入的原因，即便从业人员，都没有办法知道的内容。
这一章的科普性质内容有点多，但是没办法，不说清楚光刻机怎么作业，大家会看的一头雾水。
科普内容一共是400字，也就2起点币，算一下也还好。
(本章完)
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