第一百五十六章 国产困境(1 / 1)
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李三彪疑惑，此时光刻机不是挺多的嘛？
沈田惠掰着手指头数了起来：“四机部的1445所GK-4，是接触式光刻机，还比较落后。”
“华清大学徐教授的第四代分步式投影光刻机，光刻精度达到3微米，已经接近国际主流水平。”
“今年，中科院半导体所又研制成功JK-1型半自动接近式光刻机。这些我
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